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主要介绍半导体气敏传感器的类型，金属氧化物半导体气敏传感器气敏原理和特性参数，了解贵金属的掺杂效应，即通过添加贵金属的方法，改善传感器的灵敏度和选择性，综述了金属氧化物半导体气敏传感器添加贵金属改性的研究进展。
金属氧化物半导体气敏传感器
【摘 要】
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主要介绍半导体气敏传感器的类型，金属氧化物半导体气敏传感器气敏原理和特性参数，了解贵金属的掺杂效应，即通过添加贵金属的方法，改善传感器的灵敏度和选择性，综述了金属氧化物半
【机 构】
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浙江工业大学化学工程与材料学院
【出 处】
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化工时刊
【发表日期】
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2013年3期
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