两种ITO靶材的比较研究

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针对一种进口和国产的ITO靶材,用AES(SEM、SAM)、XPS、UPS和XRD进行了比较研究,通过研究发现两种样品的差别,为提高国产靶材的质量,提供一些改进意见。 Aiming at a kind of imported and domestic ITO target material, the comparison of AES (SEM, SAM), XPS, UPS and XRD has been carried out. The differences between the two samples have been found out, and some suggestions for improving the quality of domestic target material are provided .
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