【摘 要】
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设计一种新型的绒面复合背反射电极,首先采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在玻璃衬底上沉积一层“类金字塔”形貌的绒面ZnO薄膜,然后通过热蒸发技术在其表面覆盖一
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光学信息技术科学教育部重点实验室,天津300071
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设计一种新型的绒面复合背反射电极,首先采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在玻璃衬底上沉积一层“类金字塔”形貌的绒面ZnO薄膜,然后通过热蒸发技术在其表面覆盖一定厚度的Ag,最后溅射厚度约100nm的ZnO∶A1介质薄膜.通过改变实验条件,得到不同表面粗糙度(RMS)(60 ～150nm)的复合背反射电极.实验获得的复合背反射电极在600～1100nm波长范围内对光的反射率大于88％,300 ～1 100nm波长范围内的反射绒度(Haze)大于90％.结果表明,这种基于“类金字塔”绒面结构构建的MOCVD-ZnO/Ag/ZnO∶ A1复合背反射电极,能够有效地增强对反射光的散射,有望提高薄膜太阳电池的短路电流密度(Jsc).
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