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用１００×１００ｍｍ大面积加热器进行了气相生长金刚石膜试验，对得到的金刚石膜样品作了拉曼光谱分析，并用扫描电镜观察了不同空间区域中金刚石形核的特点，拉曼光谱和扫描电镜观察的结果，均给出了与温度分布特点较好的对应。本研究的结果，指出了热丝法大面积气相生长金刚石膜工业应用的可能性。
温度场对热丝化学气相沉积大面积生长金刚石膜的影响
【摘 要】
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用１００×１００ｍｍ大面积加热器进行了气相生长金刚石膜试验，对得到的金刚石膜样品作了拉曼光谱分析，并用扫描电镜观察了不同空间区域中金刚石形核的特点，拉曼光谱和扫描电镜观察的结果，均
【机 构】
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中国科学院全属研究所,中国科学院物理研究所
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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1995年3期
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