【摘 要】
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本文提供了一种用计算全息和零位光学系统组合补偿检测非球面的方法,实验证明该方法检测非球面面形偏差时,精度达λ/10。
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本文提供了一种用计算全息和零位光学系统组合补偿检测非球面的方法,实验证明该方法检测非球面面形偏差时,精度达λ/10。
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