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介绍了一种基于光针法的表面形貌测量装置,它能在线测量加工工件圆周方向的波纹度和轴向表面轮廓形貌,其垂直分辨率为0.02～0.10μm,横向分辨率为30～50μm。切削试验表明,该装置能够在线识别刀具上的积屑瘤、切削过程中的颤振和刀具磨损对加工表面形貌的影响。
加工表面形貌的在线检测及其应用
【摘 要】
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介绍了一种基于光针法的表面形貌测量装置,它能在线测量加工工件圆周方向的波纹度和轴向表面轮廓形貌,其垂直分辨率为0.02～0.10μm,横向分辨率为30～50μm。切削试验表明,该装置
【机 构】
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华中理工大学,华中理工大学讲师（工学博士）,教授
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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1991年2期
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