【摘 要】
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本文采用恒温液相外延生长方法，研究了ＩｎＡｓＰＳｂ四元材料外延层表面形貌与生长温度、过冷度之间的关系．实验结果表明，生长温度、过冷度对外延晶体质量及表面形貌的影响较为明显，同时对其它
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本文采用恒温液相外延生长方法，研究了ＩｎＡｓＰＳｂ四元材料外延层表面形貌与生长温度、过冷度之间的关系．实验结果表明，生长温度、过冷度对外延晶体质量及表面形貌的影响较为明显，同时对其它因素的影响也做了分析．
In this paper, constant temperature liquid-phase epitaxial growth method, the InAsPSb quaternary material epitaxial layer surface morphology and growth temperature, the relationship between the degree of undercooling. The experimental results show that the influence of growth temperature and undercooling on the quality and surface morphology of epitaxial crystal is obvious, and the influence of other factors is also analyzed.
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