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以SnCl4·5H2O为原料、用Sol-gel法制备出了SnO2薄膜,并对该薄膜的气敏特性进行了测试.结果表明,SnO2薄膜低温下对乙醇气体有较高的灵敏度和较快的响应恢复时间,且长期稳定性较好.
溶胶—凝胶法制备的SnO2薄膜气敏特性研究
【摘 要】
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以SnCl4·5H2O为原料、用Sol-gel法制备出了SnO2薄膜,并对该薄膜的气敏特性进行了测试.结果表明,SnO2薄膜低温下对乙醇气体有较高的灵敏度和较快的响应恢复时间,且长期稳
【机 构】
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河南汉威电子有限公司,郑州大学
【出 处】
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郑州轻工业学院学报
【发表日期】
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2002年4期
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