GaAs/SiO2超晶格的制备和Ramam光谱研究

来源 :光散射学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:csl721
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我们采用射频磁控溅射方法在p-Si衬底上成功地制备出四周期的非晶GaAk/SiO2超晶格,并取得基高分辨率电镜像。以800℃快速退火方法使超晶格中非晶的GaAs层局部晶化,利用Ramam散射谱研究了其结构变化。
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