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针对MEMS电容式加速度传感器,成功地研制出了一种单芯片集成检测电路。与国内常用的闭环结构不同,本电路采用的是开环检测电路。当电源电压为5V时,测得系统功耗为9 mW,灵敏度为15.8mV/g,线性误差为1.8%,噪声电压的峰峰值小于200μV（12.6 mg）,测量范围为＋/-100g。
电容式加速度计单芯片开环检测电路的研制
【摘 要】
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针对MEMS电容式加速度传感器,成功地研制出了一种单芯片集成检测电路。与国内常用的闭环结构不同,本电路采用的是开环检测电路。当电源电压为5V时,测得系统功耗为9 mW,灵敏度
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院,模拟集成电路国家级重点实验室,中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2010年4期
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