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主要阐述了一种新型电磁驱动微泵的设计和制作工艺.该微泵结构简单,由驱动线圈、硅橡胶振动膜和无阀泵泵体组成,采用硅加工工艺和非硅加工工艺(电镀)相结合进行制作.采用模压法和硅橡胶加工方法将振动膜直接做在一个硅片上;用电镀和硅体加工工艺制作驱动线圈和无阀泵泵体,然后将3个基片键合在一起.
一种新型电磁驱动微泵的设计与制作工艺
【摘 要】
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主要阐述了一种新型电磁驱动微泵的设计和制作工艺.该微泵结构简单,由驱动线圈、硅橡胶振动膜和无阀泵泵体组成,采用硅加工工艺和非硅加工工艺(电镀)相结合进行制作.采用模压
【机 构】
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上海交通大学微米纳米技术研究院
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2005年2期
【基金项目】
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高等学校博士学科点专项科研项目
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