论文部分内容阅读
采用RF磁控溅射方法制备了一系列AlN／DyFeCo／glass多层磁光薄膜。扫描电镜分析表明，随着溅射DyFeCo薄膜时氩气压的增大，AlN／DyFeCo界面的粗糙程度增大。进一步的研究表明，界面粗糙程度的改变对磁光多层膜的磁光特性影响很大，界面越粗糙，矫顽力从越大，反射率R越低，而克尔角θk首先随表面粗糙程度的增大而增大，到达一极大值然后再随表面粗糙程度的增大而减小。