【摘 要】
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利用阳极离子束技术在SKDll型不锈钢和YG6硬质合金上沉积类金刚石（DLC）薄膜，采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、Rarum光谱分析薄膜微观结构和表面形貌；采用WS一2005型附着力划痕
【机 构】
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南京理工大学机械工程学院,苏州大学物理科学与技术学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(51275247);中国博士后科学基金资助(2011M500924);江苏省研究生创新基金项目(CX10B_113Z)~~
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利用阳极离子束技术在SKDll型不锈钢和YG6硬质合金上沉积类金刚石（DLC）薄膜，采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、Rarum光谱分析薄膜微观结构和表面形貌；采用WS一2005型附着力划痕仪和洛氏压力机测试膜基结合强度；采用球磨仪测试膜层耐磨性能。结果表明：利用该技术所制DLC膜是一种非晶结构、表面平整的薄膜，粗糙度R。值仅为5．21nm。DLC／Cr／SKDlI膜系Raman光谱％，G值（0．69）高于DLC／Cr／YG6膜系（1．54），说明SKDll高于YG6所制膜层的spC键含量；DLC／Cr／
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