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RIE技术制备p—n结型GaN蓝光LEDs
RIE技术制备p—n结型GaN蓝光LEDs
来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuanyu_518
【摘 要】
:
自从S.Nakamura等人成功地制备了GaN/GaInN/AlGaN蓝、绿光LEDs以来,GaN及其相关化合物的材料生长和器件工艺得到了广泛地研究.由于GaN材料不同于传统的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,因此其器件的加工工艺,如欧姆或肖特基接
【作 者】
:
章其麒
张冀
【机 构】
:
河北半导体研究所
【出 处】
:
发光学报
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
反应离子刻蚀
氮化镓
蓝光
发光二极管
RIE
GaN
blue LEDs
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自从S.Nakamura等人成功地制备了GaN/GaInN/AlGaN蓝、绿光LEDs以来,GaN及其相关化合物的材料生长和器件工艺得到了广泛地研究.由于GaN材料不同于传统的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,因此其器件的加工工艺,如欧姆或肖特基接触的形成、...
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