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三甲基氯硅烷和金属锂在ＴＨＦ中通过还原偶合反应生成六甲基二硅烷，反应后的ＴＨＦ和未反应的金属锂可以回收再用，并对反应有明显地促进作用，六甲基二硅烷的产率从５０％增加到７０％以上。该方法对于连续制备六甲基二硅烷具有实际意义。六甲基二硅烷在无水氯化铝催化下和氯乙酰反应，脱掉一个甲基被氯化成一氯五甲基二硅烷，反应物以当量摩尔比在室温下进行，产率一般在８０％以上，有很好的重复性。合成的两个二硅烷已用＾１Ｈ