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本文在实验的基础上,叙述了LSI 中的几种双层布线工艺方法,将这几种方法进行了分析比较,并从中得出结论:Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>—SiO<sub>2</sub>方法以及 PI 方法是现行 LSI 中较为适用的双布线技术。
用于LSI的双层布线工艺研究
【摘 要】
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本文在实验的基础上,叙述了LSI 中的几种双层布线工艺方法,将这几种方法进行了分析比较,并从中得出结论:Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>—SiO<sub>2</sub>方法以及 PI 方法是现
【机 构】
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东北微电子研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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1990年2期
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