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一本文应用Ｒａｙｌｅｉｇｈ方法对微机械硅陀螺谐振器的水平和垂直方向的固有特征频率进行了分析，并应用有限元分析工具进行了检验。
微机械硅陀螺谐振器结构特征频率分析
【摘 要】
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一本文应用Ｒａｙｌｅｉｇｈ方法对微机械硅陀螺谐振器的水平和垂直方向的固有特征频率进行了分析，并应用有限元分析工具进行了检验。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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中国惯性技术学报
【发表日期】
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1998年2期
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