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在Si／SiO2衬底上将磁控溅射镍膜作为催化剂，利用化学气相沉积制备了大面积连续的石墨烯薄膜，得到的石墨烯为1～15层。将石墨烯薄膜迁移到玻璃衬底和Si／SiO2衬底上，测量了薄膜的可见光透过率和薄膜电阻，并讨论了石墨烯作为透明导电电极在光电器件上的应用。
磁控溅射镍膜催化生长石墨烯及迁移表征
【摘 要】
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在Si／SiO2衬底上将磁控溅射镍膜作为催化剂，利用化学气相沉积制备了大面积连续的石墨烯薄膜，得到的石墨烯为1～15层。将石墨烯薄膜迁移到玻璃衬底和Si／SiO2衬底上，测量了薄膜的可见
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2010年1期
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