【摘 要】
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本文对注N、注F的SIMOX/NMOSFET器件的抗辐射特性进行了研究,发现两者都能减少埋氧层及其界面的空穴陷阱,对辐射加固有所改善,特别是对大剂量辐射的加固更为明显。总体来说,
【机 构】
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本文对注N、注F的SIMOX/NMOSFET器件的抗辐射特性进行了研究,发现两者都能减少埋氧层及其界面的空穴陷阱,对辐射加固有所改善,特别是对大剂量辐射的加固更为明显。总体来说,在此能量下,离子注入剂量越大,加固越好。由于注入的剂量对片子本身的阈值电压有很大影响,所以选择对于器件初始特性影响较小的剂量及能量非常重要。
In this paper, we study the anti-radiation characteristics of SIMOX / NMOSFET devices with N, F, and found that both can reduce the hole traps in the buried oxide layer and its interface and improve the radiation reinforcement, especially for high dose radiation The reinforcement is more obvious. Overall, at this energy, the larger the ion implantation dose, the better the reinforcement. Since the injected dose has a large effect on the threshold voltage of the film itself, it is important to choose the dose and energy that have a less effect on the initial properties of the device.
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