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随着器件线宽的不断缩小，在集成电路仿真中互连线延迟所占的比重逐渐变大，而MOSFET延迟所占的比重慢慢减小，这就意味着互连的寄生电阻电容对延迟的影响越来越大。研究了如何区分并计算器件部分和互连部分的寄生电阻电容。其中区分本地互连寄生电阻电容和器件电阻电容是关键。以90nm器件为例，通过提取不同部分的寄生电阻电容，对环形振荡器进行延迟仿真，得到了它们对延迟的影响。通过不同的测试结构达到精确计算器件寄生电阻电容的目的，最终实现了对电路的精确仿真。