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本文采用划痕实验探索了综合表征金刚石膜基结合力的方法。在CETR摩擦试验机的微划痕测试仪对热丝化学气相沉积制备的膜基结合力进行划痕实验，运用划痕仪所测的声发射数据、摩擦力数据及光学、电子扫描划痕形貌来综合评定膜基结合力。评定结果表明，单一的声发射图谱或摩擦力曲线不能准确判定膜基结合力的表征值临界载荷，声发射图谱、摩擦力曲线与划痕形貌综合评定临界载荷结果才可信。