【摘 要】
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本文提出了应变Ｓｉ１－ｘＧｅｘ价带结构的等价有效简并度模型．借助这个模型，计算了赝晶生长在（１００）Ｓｉ衬底上的Ｐ型Ｓｉ１－ｘＧｅｘ应变层的重掺杂禁带窄变，发现当杂质浓度超过约２～３×１０１９ｃｍ－３后，它在某一Ｇｅ组分下得到极大值，而当掺杂低
【机 构】
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半导体超晶格国家重点实验室，中国科学院半导体研究所，西安交通大学电子工程系微电子研究室
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本文提出了应变Ｓｉ１－ｘＧｅｘ价带结构的等价有效简并度模型．借助这个模型，计算了赝晶生长在（１００）Ｓｉ衬底上的Ｐ型Ｓｉ１－ｘＧｅｘ应变层的重掺杂禁带窄变，发现当杂质浓度超过约２～３×１０１９ｃｍ－３后，它在某一Ｇｅ组分下得到极大值，而当掺杂低于此浓度时，它则随Ｇｅ组分的增加单调下降．与实验报道的对比证实了本模型的有效性．
In this paper, we propose an equivalent effective degeneracy model for the strained Si1-xGex valence band structure. With this model, the narrow bandgap of P-type Si1-xGex strained layer grown on (100) Si substrate was calculated. It is found that when the impurity concentration exceeds about 2 ~ 3 × 1019cm-3, The maximum value is obtained for a certain Ge component, and when the doping concentration is lower than this, it decreases monotonically with the increase of Ge content. The comparison with the experimental report confirms the effectiveness of this model.
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