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研究了亚稳相立方A1N(c-A1N)在A1N／VN纳米多层膜中的形成条件以及c-A1N对纳米多层膜力学性能的影响。一系列不同调制周期的A1N／VN多层膜采用反应磁控溅射法制备，多层膜的微结构采用小角度X射线衍射和高分辨电子显微镜表征，利用微力学探针测量了多层膜的力学性能。结果表明：亚稳的c-A1N因VN的“模板”作用生成于小调制周期的纳米多层膜中，并与VN形成共格外延生长的超晶格柱状晶，从而使多层膜产生硬度和弹性模量升高的超硬效应。随调制周期的增大，c-A1N转变为稳定的六方结构(h-A1N)，使多层膜形