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MEMS系统主要以硅作为其主要材料,其尺寸在毫米和微米之间,低成本,为尺寸的MEMS是未来制造业发展的必然趋势,在MEMS加工和实验的过程中,选择合适的光刻胶至关重要,本文提供了微电子工艺中的光刻胶各种性能,旨在为微加工过程提供指导.
MEMS系统中的微电子工艺光刻胶的应用研究
【摘 要】
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MEMS系统主要以硅作为其主要材料,其尺寸在毫米和微米之间,低成本,为尺寸的MEMS是未来制造业发展的必然趋势,在MEMS加工和实验的过程中,选择合适的光刻胶至关重要,本文提供了
【机 构】
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重庆三峡职业学院智能制造学院,重庆,404155
【出 处】
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数码设计（上）
【发表日期】
：
2020年7期
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