钽薄膜淀积速率与阻挡效果的研究

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cyx810625

【摘要】

：

在硅衬底上用不同淀积速率溅射得到了60 nm厚钽薄膜作为铜布线工艺中的扩散阻挡层.样品在退火前后,用二次离子质谱仪(SIMS)对钽膜的阻挡效果进行鉴定,原子力显微镜(AFM)分析

【作者】

：

庞恩文林晶吉小松汪荣昌戎瑞芬宗祥福

【机构】

：

复旦大学材料科学系

【出处】

：

固体电子学研究与进展

【发表日期】

：

2002年2期

【关键词】

：

钽薄膜淀积速率阻挡效果铜布线超大规模集成电路 Annealing Atomic force microscopy Copper Diffusion Me

【基金项目】

：

国家自然科学基金

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

在硅衬底上用不同淀积速率溅射得到了60 nm厚钽薄膜作为铜布线工艺中的扩散阻挡层.样品在退火前后,用二次离子质谱仪(SIMS)对钽膜的阻挡效果进行鉴定,原子力显微镜(AFM)分析了钽薄膜的形貌结构.研究发现不同淀积速率制作的钽膜由于其结构的差异对铜硅互扩散有着不同的阻挡效果,并提出样品在退火时,薄膜晶粒的重结晶过程是导致阻挡层失效的重要因素之一.

其他文献

铜布线工艺中阻挡层钽膜的研究

从钽膜质量的角度研究了用溅射方法在硅衬底上得到的60 nm钽膜对铜硅互扩散的阻挡效果,钽膜的质量通过对硅衬底的表面处理以及钽膜的淀积速率来控制.研究发现,适当的硅衬底表

期刊

铜布线扩散阻挡层钽薄膜copper metallization diffusion barrier Tantalum

淮南潘集外围深部煤层气地球化学特征及成因

潘集外围深部煤层气甲烷碳氢同位素分布及其成因对该区煤层气藏的形成和分布规律、煤层气资源评价均具有重要意义。采集了潘集外围深部主要煤层共25件煤样,通过解吸实验获得

期刊

潘集矿区煤层气地球化学特征成因碳氢同位素

技术创新是底气所在——广东凤铝喜获“中国航天专用铝材”称号

广东凤铝董事长吴小源在接受媒体采访时曾表示．航天材料代表了最高品质。能成为中国航天事业合作伙伴，并被授予中国航天专用铝材．对于企业来说是一种莫大的荣誉。

期刊

中国航天事业铝材技术创新专用广东航天材料合作伙伴高品质董事长

企业生产效率异质性、汇率传递与净出口

汇率波动的价格传递以及对国际收支的影响与传统的理解存在差异。汇率波动如果影响了市场结构和企业生产效率分布，那么汇率传递具有长期效应。决定贸易顺差的关键因素是国内外

期刊

COURNOT模型异质性市场结构汇率传递Cournot Model Heterogeneity Market Structure Exchange

以科技创新推动农业供给侧结构性改革

“面对新的形势和挑战，中国农业发展战略思路必须要创新，中国农业政策必须要有大的调整完善，中国的农业必须要实现转型发展。”近日，在北京召开的2016（第四届）中国粮食与食品安全战

期刊

农业发展战略科技创新改革结构供给粮食安全农业政策安全战略

水稻高产精确定量栽培技术及推广建议

近些年来,广西壮族自治区合浦县大力推广水稻高产精确定量栽培技术,并且在多年试验和推广中取得了应有的成效,提高了当地水稻产量和质量种植效益,提高了。基于此,本文首先总

期刊

水稻高产精确定量栽培推广合浦县

410t／h锅炉水冷壁的腐蚀及处理措施

介绍了410t／h锅炉水冷壁的腐蚀情况，找出原因，并采取措施，避免进一步的腐蚀。

期刊

水冷壁爆管酸性腐蚀waterwall damage tube acid corrosion

钽薄膜淀积速率与阻挡效果的研究

其他学术论文