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简单介绍微系统技术中ＬＩＧＡ工艺的发展，基本工艺步骤，特点和应用情况。
微系统技术中的LIGA工艺
【摘 要】
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简单介绍微系统技术中ＬＩＧＡ工艺的发展，基本工艺步骤，特点和应用情况。
【机 构】
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哈尔滨电工学院,东北传感技术研究所
【出 处】
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哈尔滨电工学院学报
【发表日期】
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1996年1期
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