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本文介绍了电化学C—V测试的原理和方法以及新采用的一种装置。在测试过程中,对每个样品的每种类型区采用即时测量C—V关系的办法来确定接触电势V_D,可得到比较接近实际的载流子浓度的纵向分布曲线;结合光电器件的外延、扩散工艺可提供接近实际情况的结果。
采用电化学C-V法测量Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料的载流子浓度的纵向分布
【摘 要】
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本文介绍了电化学C—V测试的原理和方法以及新采用的一种装置。在测试过程中,对每个样品的每种类型区采用即时测量C—V关系的办法来确定接触电势V_D,可得到比较接近实际的载
【机 构】
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重庆光电技术研究所;
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2004年期
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