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本文介绍了适用于微靶装配的遥操作机器人系统及其关键技术，包括对亚毫米级微粒物体进行微操作的真空吸附装置的工作原理、构成和控制；适合于微靶装配要求的高精度机械手的运动控制；以及基于网络的遥操作技术等。
面向亚毫米级微粒的遥操作系统设计
【摘 要】
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本文介绍了适用于微靶装配的遥操作机器人系统及其关键技术，包括对亚毫米级微粒物体进行微操作的真空吸附装置的工作原理、构成和控制；适合于微靶装配要求的高精度机械手的运动
【机 构】
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华中科技大学控制科学与工程系
【出 处】
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机器人
【发表日期】
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2002年6期
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