【摘 要】
：
针对表面电势测量应用,研制了一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器.传感器敏感结构采用三自由度静电弱耦合硅微机械谐振器结构,用以实现高灵敏电压测量.通过理论计算和有限元仿真,分析了静电压传感器的幅频特性和灵敏度等关键特性,制作了传感器芯片并搭建实验测试平台.测试结果表明,传感器灵敏度达到0.0967/V,线性度6.11％,且该传感器基于振幅比输出的电压灵敏度是基于频率输出的灵敏度的87.9倍,与理论结果一致.
【机 构】
：
中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室,北京 100190;中国科学院大学电子电气与通信工程学院,北京 100049;北京信息科技大学理学院,北京 100192;中国科学院空天信息创新研究
论文部分内容阅读
针对表面电势测量应用,研制了一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器.传感器敏感结构采用三自由度静电弱耦合硅微机械谐振器结构,用以实现高灵敏电压测量.通过理论计算和有限元仿真,分析了静电压传感器的幅频特性和灵敏度等关键特性,制作了传感器芯片并搭建实验测试平台.测试结果表明,传感器灵敏度达到0.0967/V,线性度6.11％,且该传感器基于振幅比输出的电压灵敏度是基于频率输出的灵敏度的87.9倍,与理论结果一致.
其他文献
编者按：语音识别技术在生活中的应用已经非常广泛，如在车载导航、智能家居、日常办公等领域都有涉及，给人们生活带来了很多便利。由于语音交互是一种更便利、更自然、更高效的沟通形式，所以它必定成为未来最主要的人机交互接口之一。那么，你真的了解语音识别技术吗？它的发展历程和技术原理又是怎样的？我们一起来了解。 语音识别技术又称ASR技术（Automatic Speech Recognition），指机器自
语音识别是一种广泛使用的人工智能技术，借助它可以实现交互对话、搜索新闻、天气查询等功能。使用语音识别技术的语音助手尽管种类很多，但是其工作原理大致相同，都经历了“识别—决策—控制”的过程。目前，使用如掌控板一类的教具已经很容易将此过程在演示实验中实现，即借助掌控板实现语音控制灯的开启和关闭，这样可以帮助学生理解语音识别技术并实现语音控制功能。 在大班教学的分组实验中，语音识别且反馈的过程是很快的
摘要：我国人工智能发展战略对高端人工智能人才的培养提出了迫切需求，高等院校为相关专业研究生开设人工智能课程成为大势所趋。作者所在课程组面向学院应用型研究生的培养目标和定位，着眼研究生编程实践能力的培养和提高，立足学院现有人工智能相关课程，跨越课程界限，体系化设计实践教学环节，提出了基础编程实践、经典算法实现、算法综合应用、实践创新竞赛共四个层次的编程实践内容。同时，课程组还探索了与之相适应的实践教
随着国家对机器人教育的关注和投入，机器人已经广泛走进了中小学教学活动。作为信息技术教学的一部分，机器人教育给中小学教学活动增添了新的生机与活力。社团是当前中小学机器人教学的主要形式，其带领学生走进机器人的世界，学习机器人知识，关注科技发展，进而启发学生把握当下，畅想未来。 机器人社团能够帮助学生提高对机器人整体的认知 机器人社团为学生提供了走近机器人的契机，让机器人不再那么神秘。在机器人社团中
研究问题 从2012年世界高等教育开启“慕课元年”至今，在线开放课程一直处于发展之中，学生在MOOC课程学习中存在的问题也逐渐显露，如学习主动性不足、参与度不高等。其中，学习满意度作为在线教学的重要评价标准，反映了学生对学习活动的愉快感受或态度。有研究发现，学生学习动机、自我效能感、学习风格、学习灵活性、师生交互等都会影响到在线学习满意度，技术特性、教师特性、学生特性和课程特性也会影响在线学习满
断路器的分合闸线圈电流波形是分析断路器机械特性的重要参数之一,文中设计了一套分合闸线圈电流波形采集系统,使用装在分合闸回路引线上的霍尔电流传感器,通过采集系统捕获分合闸线圈的电流信号,并在此基础上应用改进的极值判断法实现了断路器分合闸线圈电流信号特征点的准确提取,证明了该数据处理算法的有效性.现场测试和实际应用结果也表明,该系统可以捕获完整的分合闸线圈电流信号,准确定位特征点的位置,为分析断路器的机械特性提供了重要依据.
为提高现场多点冲击电流测试效率,设计一种便携式冲击电流测量装置.根据典型冲击电流波形的频谱分析,设计带磁芯的罗氏线圈冲击电流传感器,灵敏度为3 mV/A,采用FPGA作为数字逻辑处理单元,选用采样率高达65 MSP S的12位A/D转换器,利用两级FIFO实现全波实时测量及本地存储,现场显示电流幅值与上升时间.测量装置体积小,质量轻,便于携带.经过8/20μs典型冲击电流测试,测量精度达到±3％,测量幅值范围为0.5～5 kA.
文中介绍了发动机模拟式电子调节器低压压气机导流叶片调节通道的原理和控制规律,在此基础上提出了基于DSP技术的数字化调节方案.利用P ID控制算法实现了对低压压气机进口导流叶片角度随低压转子换算转速变化的稳定控制,运用模块化思路分别设计了数字式控制器的硬件系统和软件系统,并通过试验数据拟合曲线验证了系统控制规律的准确性和有效性,为发动机其余控制通道数字化设计提供了一种可行的思路.
摘要：智慧教学模式是以学生为中心，以调研备课、课程设计、教學实施和总结评价为教学程序，运用需求调研、开发资源、突出重点、课程思政、智慧教学、师生互动、总结反思、科学评价等方法展开教学的新型教学模式。作者将智慧教学模式运用于公安院校的“网页设计”课程教学，以期能够使学生更加牢固地掌握网页设计知识。 关键词：教学模式; 职业教育; 网页设计; 课程思政; 教育评价 中图分类号：G434 文献标识码
为确保协作机器人的安全性,需要在协作机器人关节处安装扭矩传感器,由于协作机器人自身关节尺寸有限且负载比较小,需要一种结构紧凑、灵敏度高的扭矩传感器.为解决这一难题,在分析传统轮辐式扭矩传感器的基础上,提出了一种机器人关节输出轴和传感器一体化的结构,对传感器弹性体建立力学模型、数学模型,使用响应面法对弹性体结构参数进行优化,根据Box-Behnken法进行变量设计,然后利用UG/Hypermesh进行有限元仿真验证.结果表明,优化后的传感器具有良好的抗过载能力、线性度及灵敏度.