【摘 要】
：
在低平坦化压力下用壳寡糖(COS)环保型络合剂及H2O2氧化剂化学机械抛光铝合金,用原子力显微镜观测抛光后的表面质量,并用X射线光电子能谱仪分析其表面的钝化膜元素,用纳米压
【基金项目】
：
国家自然科学基金面上项目(No.51775360),苏州市重点研发产业化项目(SGC201743)
论文部分内容阅读
在低平坦化压力下用壳寡糖(COS)环保型络合剂及H2O2氧化剂化学机械抛光铝合金,用原子力显微镜观测抛光后的表面质量,并用X射线光电子能谱仪分析其表面的钝化膜元素,用纳米压痕仪分析钝化膜的力学性能,研究COS及H2O2对铝合金CMP的作用机理。结果表明:H2O2质量分数为2%时,材料去除率随COS含量的增加而增大,当COS质量分数为0.32%时,材料的去除速率达861 nm/min,表面粗糙度最低为2.50 nm;COS质量分数为0.50%时,材料去除率随H2O2含量的增加先增大后减小,当H2O2质量分数
其他文献
技术在与自然、社会相互作用的过程中，技术的手段失控与目的滥用，是技术负面价值形成的主要途径，但并不是产生的根源。文章立足于技术负面价值形成的内在手段与外在表现，通过对技
快速增长的行政成本给国家带来了巨大负担。本文通过实证分析，发现财政支出和城市化水平是推升行政成本的关键影响因素。财政支出每增加1亿元，政府行政成本就会增加1350万元；城
文章认为,科学是一种文化现象,它有着复杂的结构,是由"器物、制度和精神"三个层面构成的有机整体.在这三者之中,科学精神处于核心和灵魂的地位.
我的小学数学名师工作室成立于2017年。近四年来，工作室立足于教师的专业发展，遵循“以课题研究为依托，以课堂教学为载体，以教学问题为对象，以反思提高为特征，以同伴互助为宗旨，以专家引领为契机”的工作思路，经过研修反思，探索出了小学数学名师工作室“混合式研修”模式，促进了教师团队的专业成长，为区域教育的均衡发展起到了应有作用。 混合式研修，是指名师工作室在整合不同学习资源的前提下，将传统面对面学习
由于极佳的价格与性能之比，可充（可再用）碱性锌－二氧化锰电池已颇为流行。本文将讨论某些在理论和技术方面已经取得的成果，如无汞化，百分之百深度放电，气体循环，极性反转，捆绑电池组等
人比人气死人,小心眼;人比人激奋人,大现实。有一个外商欲将投资内迁,跑了不少地方,都因人的因素而下不了投资决心。后来,他来到一个“穷山恶水”之地,当地人热情好客、办事
西方文化因其科学精神之强盛而被称为科学文化，在科学精神过分张扬的西方文化中，在一定程度上被遮蔽的人文精神，并示被消解掉，自文艺复兴以来，作为一种传统，一种内化了的精神特质，西
在科学史和科学哲学的发展中,技术不仅被科学史所忽视,而且占主导的科学哲学以数学-逻辑的模式来解释科学,也忽视了科学中技术的作用.在现象学运动的背景下,逐渐产生了以实践