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本文通过数学机械模型，描述了图形曝光设备的光学系统和机械性能。探讨了应用模型改进光刻设备的结构特性。准确的实时设备控制，使得未来亚微米光刻的目标越来越现实。在深入到亚微米光刻技术的今天，很有必要对设备校准，装配和操作运行进行探讨，以便促进对操作运行和设备结构性能的进一步了解。
用于光刻技术的机械模型
【摘 要】
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本文通过数学机械模型，描述了图形曝光设备的光学系统和机械性能。探讨了应用模型改进光刻设备的结构特性。准确的实时设备控制，使得未来亚微米光刻的目标越来越现实。在深入到
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1996年4期
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