溶胶-凝胶法在3D-SiC陶瓷表面浸涂Al2O3薄膜的研究

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以无机盐Al(NO3)3·9H2O为先驱体、水为溶剂,加入不同浓度的胶溶剂HNO3,采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备了勃姆石(γ-AlOOH)溶胶。分别以溶液下降法和真空浸渍法在三维网络碳化硅陶瓷骨架(3I)-SiC)表面浸涂γ-AlOOH溶胶,采用不同烧结制度在3D-SiC表面生成了Al2O3薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、红外光谱仪(IR)和扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的物相和显微结构,并检测了薄膜的抗热震性。结果表明,采用真空浸溃法在3D-SiC表面浸涂加入浓度0.22mol
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