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同位素稀释质谱法(IDMS)灵敏、准确。不需要严格的定量分离,是仅有的几种绝对分析方法之一。尤其是在痕量分析和标准参考物质分析中倍受欢迎。关于IDMS分析中稀释剂的用量问题,不少文献都指出最佳稀释比是使R_3=(R_1·R_2)~(1/2)(R_1、R_2和R_3分别为样品、稀释剂和混合样中两被测同位素的比),在这种情况下分析误差最小。但在实际分析中,许多情况下难于