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文章介绍了激光干涉测温原理．测试装置及测试结果与普通方法的比较．从而说明此法的优点。
真空镀膜基板温度的测试新法──激光干涉测定基板温度
【摘 要】
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文章介绍了激光干涉测温原理．测试装置及测试结果与普通方法的比较．从而说明此法的优点。
【机 构】
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吉林化工学院,吉林市无线电元件厂
【出 处】
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大学物理实验
【发表日期】
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1995年2期
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