【摘 要】
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为了提高聚酯型光致抗蚀剂质量,我们通过合成方法的改进,结合凝胶色谱法测定产品的分子量分布,认为产品的分子量大小和分子量分布取决于所采用的合成方法,从而直接影响光刻胶
【机 构】
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福建师范大学高分子研究所,福建师范大学高分子研究所,
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为了提高聚酯型光致抗蚀剂质量,我们通过合成方法的改进,结合凝胶色谱法测定产品的分子量分布,认为产品的分子量大小和分子量分布取决于所采用的合成方法,从而直接影响光刻胶质量。改进后的合成方法,在常压下可进行反应,降底了反应温度,大大缩短反应时间,並易于控制分子量大小,制得了分子量分布较窄而对称的产品。
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