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本文对蒸镀薄膜过程中的蒸发柱子流调制盘的形式及作用进行了讨论;同时对具有调制盘存在时的蒸发速度、调制速度以及膜厚的关系进行了分析。文中给出了一个用调制盘稳定沉积速度的例子,并指出了实践中应注意的几个问题。
蒸镀调制盘及其分析
【摘 要】
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本文对蒸镀薄膜过程中的蒸发柱子流调制盘的形式及作用进行了讨论;同时对具有调制盘存在时的蒸发速度、调制速度以及膜厚的关系进行了分析。文中给出了一个用调制盘稳定沉积
【机 构】
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哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1989年6期
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