【摘 要】
：
本文从圆平面靶磁控溅射的原理出发,针对圆形平面靶面积小于基片面积的特点进行分析,建立膜厚分布的数学模型,并利用计算机进行模拟计算,目的在于探寻平面靶材面积小于基片面
【机 构】
：
东北大学,中海石油(中国)东海西湖石油天然气作业公司,
论文部分内容阅读
本文从圆平面靶磁控溅射的原理出发,针对圆形平面靶面积小于基片面积的特点进行分析,建立膜厚分布的数学模型,并利用计算机进行模拟计算,目的在于探寻平面靶材面积小于基片面积时影响膜厚均匀性的因素。模拟计算的结果表明:基片偏心自转时,靶基距和偏心距对膜厚分布均有影响。偏心距一定时,随着靶基距的增大,薄膜厚度变小,膜厚均匀性有提高的趋势;靶基距一定时,随着偏心距的增大,膜厚均匀性先变好后变差。当基片自转复合公转时,随着转速比的增大,膜厚均匀性逐渐变好,转速比增大到一定程度后,它对膜厚均匀性的影响逐渐变小。圆形平面靶的刻蚀环范围的变化对薄膜的均匀性有一定的影响。这些理论为小圆平面磁控溅射系统的设计和实际应用提供了理论依据。
其他文献
翻转课堂源于美国,之后在全世界范围内得以传播,是一种课外习得知识、课内深化知识的教学结构。相比于传统课堂教学模式,翻转课堂模式增加了师生之间的交流,有利于培养学生的
为了辨别不同土地利用研究的优势和不足,明确未来研究方向,从土地集约利用投入产出和土地集约利用的因果关联2个方面对国内外相关研究进行梳理,从研究内容、时空尺度和研究方
长期以来,长三角城市都把融入"上海经济圈"作为最重要的发展战略之一。在我国进入了"新常态"发展期后,迫切需要解决经济增速下滑、产业结构转型升级、建立新的发展动力模式等
受到市场竞争压力的影响,我国越来越多的企业开始关注人才吸引的问题。组织吸引力能够对潜在员工的求职态度、求职行为产生积极影响,进而有利于组织绩效的提升。介绍了学者们
在隧道锚现场缩尺(1∶10)模型试验中,通过多点位移计监测锚碇及围岩的变形,通过应变仪监测锚碇的应变,通过声发射监测锚碇及围岩变形发展过程,然后,对监测到的变形、应变与锚
绿色发展是人类共同的发展主题,也是我国精准扶贫实践的重要指导思想。产业精准扶贫是精准扶贫的重要扶贫方式,因此研究用绿色发展思维指导产业精准扶贫实践具有重要意义。研
应用MIKE 11和MIKE 21分别构建北京市大兴区天堂河下游地区一维和二维水动力学模型,采用DHI MIKE FLOOD耦合模拟了不同暴雨重现期下该地区的淹没特性.为分析该地区暴雨洪涝灾
公益广告作为社会传媒文化中一个重要形态,在宣传和保护民族文化、弘扬爱国精神、社会教育、文化传播、舆论导向等方面发挥的重要作用。随着我国经济的飞速发展,我国公益广告
物保是以担保物权作为债权的担保方式,人保是保证人作为债权的担保方式。针对《物权法》中物保与人保及占有制度的法律关系进行了论述.
目的：通过报告1例左氧氟沙星致严重胃肠道不良反应诊断的临床过程,系统复习相关文献,提高临床医师对左氧氟沙星胃肠道不良反应的认识。资料和方法：对1例使用左氧氟沙星后出现严