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以Sn(OH) 4 水合胶体为原料 ,采用简单的旋转涂覆与烧结工艺在Si片上成功制备出了表面形貌平整、光亮的SnO2 纳米晶薄膜 ,为该种材料制作实用的气敏元件打下了很好的基础。
Sol—Gel法制备SnO2纳米晶薄膜
【摘 要】
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以Sn(OH) 4 水合胶体为原料 ,采用简单的旋转涂覆与烧结工艺在Si片上成功制备出了表面形貌平整、光亮的SnO2 纳米晶薄膜 ,为该种材料制作实用的气敏元件打下了很好的基础。
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2000年B05期
【基金项目】
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国家自然科学基金!资助项目 ( 69774 0 2 7)
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