【摘 要】
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随着光学精密加工技术的发展,非球面光学元件在各种光学系统中广泛应用,高精度非球面检测技术对非球面光学元件的发展意义重大.论述了基于干涉法的非球面面形误差检测技术.根
【机 构】
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精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(51327005,51735002,61705008)
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随着光学精密加工技术的发展,非球面光学元件在各种光学系统中广泛应用,高精度非球面检测技术对非球面光学元件的发展意义重大.论述了基于干涉法的非球面面形误差检测技术.根据检测原理,分别对零位干涉检验法与非零位干涉检验法进行了详细介绍.概述了近年来主流的非球面检测技术现状,展望了非球面面形检测技术的发展趋势.
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