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准分子激光加工是解决MEMS中微摩擦问题的手段之一。通过研究准分子激光加工表面轮廓的分形特性，探索准分子激光加工表面轮廓分析中的应用问题，如分形参数表征和分形插值模拟等。
准分子激光加工表面轮廓的分形分析
【摘 要】
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准分子激光加工是解决MEMS中微摩擦问题的手段之一。通过研究准分子激光加工表面轮廓的分形特性，探索准分子激光加工表面轮廓分析中的应用问题，如分形参数表征和分形插值模拟等
【机 构】
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东华理工学院,南昌大学机电学院
【出 处】
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航天制造技术
【发表日期】
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2003年3期
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