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当光栅周期小于所使用的波长时,亚微米的表面微结构可以具有减反射作用.本文报导率了理论研究和制作技术,成功地制作了周期为400nm等的超微细结构,测量结果与理论值具有良好的一致性.
亚波长超微细减反射结构研究
【摘 要】
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当光栅周期小于所使用的波长时,亚微米的表面微结构可以具有减反射作用.本文报导率了理论研究和制作技术,成功地制作了周期为400nm等的超微细结构,测量结果与理论值具有良好的一致性.
【机 构】
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成都精密光学工程研究中心(四川成都)
【出 处】
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第四届全国光学学术会议
【发表日期】
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2002年12期
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