【摘 要】
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本文介绍了芬兰Ou1u大学微电子学实验室正在研究的各种厚膜传感器。详述了处于应用阶段的电容性厚膜温度传感器。目前,仍处于材料研究阶段的其它厚膜传感器有电阻性湿度传感
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本文介绍了芬兰Ou1u大学微电子学实验室正在研究的各种厚膜传感器。详述了处于应用阶段的电容性厚膜温度传感器。目前,仍处于材料研究阶段的其它厚膜传感器有电阻性湿度传感器、气体传感器和离子选择传感器。
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