基于电荷流动晶体管的新型气敏传感器

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wuwu245

【摘要】

：

在通常的MOSFET基础上，根据电荷流动电容器原理，设计了一种新栅区一槽的电荷流动场效应管（CFT），并以一种新型有机半导体材料－三明治型稀土金属元素镨双酞黄配合物(Pr[Pc(OC8H17)8

【作者】

：

谢丹姜健壮等

【机构】

：

电子科技大学信息材料工程学院,山东大学化学系

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2001年7期

【关键词】

：

气体传感器电荷流动晶体管 MOSFET LB膜二氧化氮镨双酞菁配合物 gassensorchargeflowtransistor(CFT)MOSFETni

【基金项目】

：

教育部基金

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在通常的MOSFET基础上，根据电荷流动电容器原理，设计了一种新栅区一槽的电荷流动场效应管（CFT），并以一种新型有机半导体材料－三明治型稀土金属元素镨双酞黄配合物(Pr[Pc(OC8H17)8]2为气敏材料，取代栅极中的间隙位置，利用LB超分子薄膜技术，将Pr[Pc(OC8H17)8]2以1：3的配比与十八烷醇（OA）混合的LB多层膜（Pr[Pc(OC8H17)8]2-OA)控制在CFT上，形成了一种新型的具有CFT结构的NO2气敏传感器，当对该器件加一栅压VGS时（大于阈值电压），由于高慕以电达V

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