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在BiO-(Sr+Ca)O—CuO相图上的Bi2Sr2CaCu208+δ(Bi2212)相附近选择不同成分,用分子束外延法制备成薄膜,利用XRD,EDS,SEM和AFM研究了成分、衬底温度和臭氧分压对Bi-2212相薄膜成相的影响,分析了生长速率和错配度对Bi-2212相薄膜质量的影响.结果表明,Bi-2212相薄膜单相生成的成分范围(原子分数)分别为Bi26.3%32.4%,(Sr+Ca)37.4%-46.5%,Cu24.8%32.6%;当衬底温度为720℃且臭氧分压为1.3×10^-3Pa时