【摘 要】
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将带有ＴｉＮ、Ｗ和Ｍｏ阻挡层的Ａｕ金属化系统用在高频大功率三极管上，对其ＥＢ结进行了高温大电流应力和高温存储试验。结果表明采用ＴｉＮ作阻挡层的管子的寿命比用Ｗ作阻挡层的管子提高了两倍多：用ＴｉＮ作阻
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将带有ＴｉＮ、Ｗ和Ｍｏ阻挡层的Ａｕ金属化系统用在高频大功率三极管上，对其ＥＢ结进行了高温大电流应力和高温存储试验。结果表明采用ＴｉＮ作阻挡层的管子的寿命比用Ｗ作阻挡层的管子提高了两倍多：用ＴｉＮ作阻挡层的管子和用Ｗ作阻挡层的管子具有较好的耐高温特性，与Ｍｏ作阻挡层的管子相比它们承受的温度更高。
The Au metallization system with TiN, W and Mo barriers was used on high frequency high power transistors to test the EB junction for high temperature and high current stress and high temperature storage. The results show that the pipe life with TiN as a barrier is more than double that of the pipe with a barrier layer of W. The pipe with TiN as a barrier and the pipe with a barrier as W have better high temperature resistance and Mo The tubes that make up the barrier are warmer than they are.
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