微细台阶测量技术的发展现状

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【摘要】

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微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标,直接影响器件和构件的特性,目前要求台阶测量应具有纳米级精度.概要介绍了台阶测量技术的发展情况,阐述了

【作者】

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白立芬李庆祥薛实福黄成伟

【机构】

：

清华大学精密仪器与机械学系

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

：

2001年2期

【关键词】

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微细台阶纳米技术接触式测量非接触式测量技术发展集成电路微机械结构 Micro StepMicrotechnology and Nanotechnol

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微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标,直接影响器件和构件的特性,目前要求台阶测量应具有纳米级精度.概要介绍了台阶测量技术的发展情况,阐述了非接触台阶测量和接触式台阶测量技术,从测量原理、测量精度与分辨率、适用范围、对被测对象的要求与影响等几方面分析了各种测量方法的特点,并得出了结论.

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