平面工艺制作的定向输出微腔半导体激光器

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fy_laile
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光学微腔中偶极子自发辐射受到空间和频谱调制,能实现自发辐射增强或抑制效应,而且其有源区体积可以非常小,有利于极低阈值工作和极高的调制速率。在过去的二十多年来,垂直腔面发射激光器、回音壁模式(whisSperig-gauely mode)微腔激光器以及光子晶体微腔激光器三类光学微腔激光器的研究取得了很大的进展。回音壁模式微腔中,模式光线由于其在微腔界面的入射角大于全反射临界角而受到限制,是一种结构非常简单的光学微腔。微盘激光器作为典型的回音壁模式微腔激光器,可利用普通的边发射激光器外延片材料,采用半导体平面工艺制作,引起了人们很大的重视。但圆对称结构的 The spontaneous radiation of dipoles in optical microcavities can be modulated by space and spectrum, which can enhance or suppress spontaneous emission. The volume of active area can be very small, which is beneficial to extremely low threshold operation and extremely high modulation rate. In the past 20 years, the vertical cavity surface emitting lasers, whispering chamber mode (whisSperig-gauely mode) microcavity lasers and photonic crystal microcavity lasers three types of optical microcavity laser research has made great progress. In the whispering gallery mode microcavity, the mode light is limited because of its angle of incidence at the microcavity interface being greater than the critical angle of total reflection, which is a very simple optical microcavity. As a typical whispering gallery mode microcavity laser, the microdisk laser can make use of the common edge emitting laser epitaxial wafer material and the semiconductor planar technology to make it, attracting great attention. But the circle symmetrical structure
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