The growth and properties of an m-plane InN epilayer on LiAlO2 （100） by metal-organic chemical vapor

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【摘要】

：

m 飞机客栈(1 [“ 1 ]\bar 1 00 ) epilayers 在 LiAlO2 上被种了(1 0 0 ) 由用金属器官的化学蒸汽免职(MOCVD ) 的一个二拍子的圆舞生长方法的底层系统。低温度客栈缓冲区

【作者】

：

XIE ZiLi ZHANG Rong FU DeYi LI

【机构】

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SchoolofElectronicsandEngineerings,JiangsuProvincialKeyLaboratoryofAdvancedPhotonicandElectronicMate

【出处】

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中国科学：物理学、力学、天文学英文版

【发表日期】

：

2012年7期

【关键词】

：

化学气相沉积生长方法晶体性能铝酸锂 INN 有机金属 X射线衍射原子力显微镜 crystal structure X-ray diffraction

【基金项目】

：

This work was supported by the Special Funds for the Major State Basic Research Project （Grant Na. 2011CB301900）, the High-Tech Research Project （Grant No. 2011AAO3A103）, the National Natural Science

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m 飞机客栈(1 [“ 1 ]\\bar 1 00 ) epilayers 在 LiAlO2 上被种了(1 0 0 ) 由用金属器官的化学蒸汽免职(MOCVD ) 的一个二拍子的圆舞生长方法的底层系统。低温度客栈缓冲区层(副客栈) 被介绍克服 LiAlO2 的热不稳定性的缺点(老挝人) 并且由于大热失配在之间减轻紧张老挝人并且客栈。然后高温度 m 飞机客栈(1 [“ 1 ]\\bar 1 00 ) epilayers (HT 客栈) 被种。X 光检查衍射(XRD ) 的结果建议 m 飞机客栈(1 [“ 1

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