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本文对基于SBA-15的QCM湿度传感器进行了三维有限元精确建模与数值仿真,分析了SBA-15湿敏薄膜材料对传感器的振动模态、中心频率、电学阻抗及Q值等性能参数的影响,为纳米湿敏薄膜的成膜工艺及新型QCM湿度传感器的优化设计与制造提供了重要的理论参考依据。
SBA-15薄膜修饰QCM湿度传感器的三维有限元建模与仿真
【摘 要】
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本文对基于SBA-15的QCM湿度传感器进行了三维有限元精确建模与数值仿真,分析了SBA-15湿敏薄膜材料对传感器的振动模态、中心频率、电学阻抗及Q值等性能参数的影响,为纳米湿敏
【机 构】
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南阳理工学院,上海交通大学,上海大学
【出 处】
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电子技术与软件工程
【发表日期】
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2017年10期
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