美帝电子束曝光技术近况

来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aspl12315
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
美帝一些公司为了能在很小视场内对制作精细线条所需射束进行精密控制,已将扫描电子显微镜和数字计算机结合起来使用。电子束制版技术虽然已离开实验室阶段,但用于生产还需较长的时间。电子束制版技术有很多优点。它可以省去目前制作原版时所用的昂贵的平台刻图机、一次缩小照相机和分步重复照相机。在电传打字机端点或用光笔可以简便地更改设计。这些优 Some companies at the US imperial court have used scanning electron microscopy and digital computers in order to provide precise control of the beam needed to make fine lines in a small field of view. Although electron beam platemaking technology has left the laboratory stage, but for the production takes longer time. Electron beam platemaking technology has many advantages. It eliminates the need for expensive platform plotters, one downsizing camera and step-and-repeat camera that are currently in production. Simply change the design at the teletypewriter endpoint or with a light pen. These excellent
其他文献
我们从事电路设计、仪器研制时,常常用到半导体二极管和晶体三极管以及光电器件.同时,在科研、生产、教学工作中,为了有效地利用国外某些已有的成果或对国内外电子电路进行
在玉米栽培过程中,病虫害是影响玉米生长的主要因素。本文对玉米病虫害的发生以及防治措施进行分析与探讨,旨在提高玉米生长水平。 In corn cultivation, pests and disease
为了保证今年国家农业综合开发任务的顺利完成 ,国家农发办将对几项重要政策进行研究 ,适时作出调整。一是土地、多种经营和科技三大类农业综合开发项目之间的投资比例政策。
新生儿泪囊炎是一种常见的小儿眼病,发病率约为6 % 〔1〕,生后几天或更长时间即发现患儿溢泪、眼分泌物增多,常被误诊为结膜炎。常用的治疗方法有向下挤压泪囊法、加压冲洗法
2006年11月17日,全国工商联汽摩配用品业商会、全国汽配市场联合会职业经理人第二次工作会议在青岛北海宾馆隆重召开。全国汽配用品商会长霍义光、副会长朱财宝、秘书长韩春
本文叙述了致发光单元及由七个发光单元组成的“8”字型数字指示器的制造工艺,用该法制造的仪器在热、电和机械过载时具有很高的稳定性。 This article describes the manuf
基耶夫斯克國立师范学院四年级学生德魯子为工業中廣泛地应用着的、借助于电暈放电作成的净化气体的濾气器作了一个模型。仪器的基本圖象如附圖所示。它的主要部份是夾在竪
所谓自主学习、自主发展,是指学生在教师的科学引导下,通过能动的创造性的学习活动,使他们实现自主发展的习得实践活动。学生是学习的主人,是教育的主体,是学校的活动主体;学
自96年国家建立专项储备油制度以来,对增加国家对油脂市场的宏观调控能力,保障军需民食起到积极的促进作用。与此同时,在国家专项储备油(以下简称“专储油”)管理过程中,也存在许多
1.序言1971年5月底美国宇航局水手号飞船将飞向火星,对火星及其大气层进行详尽考察,其探测分辨力与水手6号、7号的最佳分辨力差不多。当飞船在1971年11月飞经火星时,它将处